让IGBT真正好用的秘诀,是故意调低它的电流上限
东芝工程师中川昭夫发现,解决IGBT闩锁烧毁问题的办法不是把安全电流上限往上提,而是把器件饱和电流主动压到闩锁门槛之下,让它先饱和而不是先烧穿。
核心论点 · 点时间戳可跳到原声
晶闸管一旦导通就关不掉
可控硅整流器由PNPN四层结构构成,栅极触发后电流从阳极流向阴极,一旦导通就会自锁:不管栅极怎么操作,都要等阳极电流降到零或某个阈值以下才能关断。用来把交流转直流没问题,因为交流电会自然过零;但用在直流场景就必须额外加电路把电流强行拉低,既耗电又占地方。这个缺陷直接推动了后续一系列「可以随时关断」新器件的研发,功率BJT和功率MOSFET由此先后登场,也为IGBT的出现埋下伏笔。
把MOSFET和BJT硬拼在一起的构想
Baliga在GE研究院经历了「静电感应晶闸管」项目失败后,反思行业里功率BJT和功率MOSFET的长期拉锯:BJT能扛高压但耗电、开关慢,MOSFET省电、开关快但扛不住高压。他由此设想,能不能做一个电压控制、像MOSFET一样快速耐用,又能像BJT一样扛大电流的器件——干脆把两者合并。最终的IGBT结构因此极其诡异:保留MOSFET的栅极,又有BJT式的发射极和集电极,导通时先靠MOSFET的反型层通电,再触发类似BJT的少数载流子注入,靠「电导调制」把电阻大幅拉低。
韦尔奇时代的政治压力催生了IGT
GE一位副总裁想为空调、热泵的调速驱动器找到BJT替代品,直接撂话:如果研究部拿不出东西,他就去告诉韦尔奇这些实验室根本没必要存在。Baliga借机把半BJT半MOSFET的构想重新提案,强调它能用在远不止调速电机的场景——家电、照明等GE几乎所有业务线。副总裁很兴奋,直接汇报给韦尔奇,器件被加速立项,1981年8月第一批晶圆流片,1982年12月公开发表,1983年6月以「绝缘栅晶体管」(IGT)名义正式上市。
RCA几乎同时独立做出了同一个器件
与GE平行,RCA的Carl Wheatley也在找新一代功率半导体,他的思路是做一个「带有一些双极性作用的功率MOSFET」,以获得更高的电流密度;具体工程由同事Hans Becke完成,两人1980年申请专利,1983年商业化推出,取名COMFET。于是市面上同时出现COMFET、IGR、IGT等好几个名字描述同一类器件,这也是后来追溯「到底谁发明了IGBT」变得异常混乱的直接原因。
IGBT体内藏着一个会烧穿自己的寄生晶体管
IGBT本质是MOSFET驱动一个PNP BJT,但结构里同时寄生着一个不想要的NPN BJT。电流足够大时,空穴从P型集电极经N型漂移区和P型体区横向流向发射极金属触点,会在体区产生压降;压降一旦够高,就会意外触发这个寄生NPN管,与正常的PNP管形成自我维持的电流回路,关闭栅极也无法再关断器件,直接走向热失控。Baliga提出「Deep P+」掺杂结构缓解该问题,但闩锁风险并未根除,用户仍须自行留在安全工作区内。
真正解决闩锁的办法是主动调低电流上限
此前所有人的思路都是提高闩锁电流极限,但BJT的饱和电流本身很高,很容易撞到闩锁门槛,而且闩锁极限还会随温度等因素浮动,系统设计者必须时刻提防器件越界闩锁烧毁。东芝的中川昭夫反其道而行:把器件的饱和电流主动降到闩锁电流极限之下,这样器件会先达到电流饱和、而不是先触发闩锁——闩锁问题在正常工作范围内被彻底排除。东芝1985年开始出售这种不闩锁的IGBT,很快在中高压变流器市场取代了功率BJT和MOSFET。
IGBT发明权之争没有标准答案
Baliga 1979年最早发表构想、1982年最早把器件推向市场,并持续改进、申请了20多项专利、写了一本800多页的IGBT专著,因此多数业内人士认可他是发明人或共同发明人;但他早期的器件在大电流下仍有「类晶闸管」表现,并非真正不闩锁的器件。RCA的专利申请时间也很早,其专利主张的正是「全工作范围内不闩锁」,而这个特性其实是中川在东芝做出来的——中川本人至今仍在自己的网站上把真正的发明权归给RCA的Becke。节目把这争议类比为集成电路发明权之争:Kilby做出了第一个IC,但Noyce和Hoerni的平面工艺才做出了真正实用的单片IC。
碳化硅、氮化镓来了,硅基IGBT仍未退场
新一代宽禁带材料制成的功率器件,如碳化硅、氮化镓,正在崛起,但传统硅基IGBT依然牢牢占据中等功率这一细分市场,尚未被取代。节目收尾强调IGBT真正的遗产:它让空调在完成初始制冷后能降低电机转速、仅维持温度,从而大幅省电;它也是现代风电把可变交流电转换成直流存储的核心部件,以及电动车电机驱动系统里不可或缺的一环。
原话 · 已逐字校验
It's more like as if the two got mixed up inside the teleportation pods from that movie, the Fly. … It's semiconductor body horror.
这更像是两者在电影《变蝇人》的传送舱里被搅在了一起……这是半导体版的『人体恐怖片』。
He told them bluntly, if Research doesn’t come up with something then he will tell Welch that the labs were unnecessary.
他直截了当地告诉他们:如果研究部拿不出点东西来,他就会去告诉韦尔奇,这些实验室根本没有存在的必要。
I thought, what I’ll do is I’ll make the power MOSFET and I’ll have to make sure that it does have some bipolar action as well, and this will give me a lot of high current-density capability
我当时想,我要做的是做出功率MOSFET,同时还得确保它带有一些双极型的作用,这样就能给我带来很强的高电流密度能力。
Carl F. Wheatley12:28
This parasitic NPN BJT reacts with the normal PNP BJT to create a self-sustaining loop like that reactor at the end of the Spider-Man 2 movie.
这个寄生的NPN双极晶体管会和正常的PNP双极晶体管相互作用,形成一个自我维持的循环,就像电影《蜘蛛侠2》结尾那个反应堆一样。
Nakagawa's insight - which looks obvious in hindsight but is also why it is so brilliant - was to lower the device's saturation current to below its latch-up current limit.
中川的洞见——事后看显而易见,但这也正是它高明之处——就是把器件的饱和电流降到低于其闩锁电流极限。
In the end, it all comes down to what you think is the IGBT we are talking about.
说到底,这取决于你认为我们在谈论的『IGBT』到底指的是哪一种器件。
数字与实体
| 首批功率MOSFET可处理的功率上限 | 小于1瓦 | 5:15 |
| GE首批IGT晶圆下线时间 | 1981年8月 | 11:24 |
| IGT正式上市时间 | 1983年6月 | 12:28 |
| Baliga为改进IGBT申请的专利数 | 20多项 | 19:34 |
| Baliga所著IGBT专著页数 | 800多页 | 19:34 |
术语
- IGBT绝缘栅双极晶体管
- 兼具MOSFET栅极控制和BJT大电流导通能力的混合功率器件
- latch-up闩锁
- 器件导通后无法通过栅极关断、只能靠外部强行降流才能停止的失控状态
- conductivity modulation电导调制
- 少数与多数载流子同时注入使材料电阻大幅下降、从而通过更大电流的效应
- Deep P+深P+掺杂区
- Baliga加入的一种重掺杂结构,用来限制空穴流动、降低闩锁风险
- parasitic NPN BJT寄生NPN双极晶体管
- IGBT结构中本不需要、却可能被意外触发导致闩锁的隐藏晶体管
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