讓IGBT真正好用的秘訣,是故意調低它的電流上限
東芝工程師中川昭夫發現,解決IGBT閂鎖燒燬問題的辦法不是把安全電流上限往上提,而是把器件飽和電流主動壓到閂鎖門檻之下,讓它先飽和而不是先燒穿。
核心論點 · 點時間戳可跳到原聲
晶閘管一旦導通就關不掉
可控硅整流器由PNPN四層結構構成,柵極觸發後電流從陽極流向陰極,一旦導通就會自鎖:不管柵極怎麼操作,都要等陽極電流降到零或某個閾值以下才能關斷。用來把交流轉直流沒問題,因為交流電會自然過零;但用在直流場景就必須額外加電路把電流強行拉低,既耗電又佔地方。這個缺陷直接推動了後續一系列「可以隨時關斷」新器件的研發,功率BJT和功率MOSFET由此先後登場,也為IGBT的出現埋下伏筆。
把MOSFET和BJT硬拼在一起的構想
Baliga在GE研究院經歷了「靜電感應晶閘管」項目失敗後,反思行業裡功率BJT和功率MOSFET的長期拉鋸:BJT能扛高壓但耗電、開關慢,MOSFET省電、開關快但扛不住高壓。他由此設想,能不能做一個電壓控制、像MOSFET一樣快速耐用,又能像BJT一樣扛大電流的器件——乾脆把兩者合併。最終的IGBT結構因此極其詭異:保留MOSFET的柵極,又有BJT式的發射極和集電極,導通時先靠MOSFET的反型層通電,再觸發類似BJT的少數載流子注入,靠「電導調製」把電阻大幅拉低。
韋爾奇時代的政治壓力催生了IGT
GE一位副總裁想為空調、熱泵的調速驅動器找到BJT替代品,直接撂話:如果研究部拿不出東西,他就去告訴韋爾奇這些實驗室根本沒必要存在。Baliga藉機把半BJT半MOSFET的構想重新提案,強調它能用在遠不止調速電機的場景——家電、照明等GE幾乎所有業務線。副總裁很興奮,直接彙報給韋爾奇,器件被加速立項,1981年8月第一批晶圓流片,1982年12月公開發表,1983年6月以「絕緣柵晶體管」(IGT)名義正式上市。
RCA幾乎同時獨立做出了同一個器件
與GE平行,RCA的Carl Wheatley也在找新一代功率半導體,他的思路是做一個「帶有一些雙極性作用的功率MOSFET」,以獲得更高的電流密度;具體工程由同事Hans Becke完成,兩人1980年申請專利,1983年商業化推出,取名COMFET。於是市面上同時出現COMFET、IGR、IGT等好幾個名字描述同一類器件,這也是後來追溯「到底誰發明了IGBT」變得異常混亂的直接原因。
IGBT體內藏著一個會燒穿自己的寄生晶體管
IGBT本質是MOSFET驅動一個PNP BJT,但結構裡同時寄生著一個不想要的NPN BJT。電流足夠大時,空穴從P型集電極經N型漂移區和P型體區橫向流向發射極金屬觸點,會在體區產生壓降;壓降一旦夠高,就會意外觸發這個寄生NPN管,與正常的PNP管形成自我維持的電流回路,關閉柵極也無法再關斷器件,直接走向熱失控。Baliga提出「Deep P+」摻雜結構緩解該問題,但閂鎖風險並未根除,用戶仍須自行留在安全工作區內。
真正解決閂鎖的辦法是主動調低電流上限
此前所有人的思路都是提高閂鎖電流極限,但BJT的飽和電流本身很高,很容易撞到閂鎖門檻,而且閂鎖極限還會隨溫度等因素浮動,系統設計者必須時刻提防器件越界閂鎖燒燬。東芝的中川昭夫反其道而行:把器件的飽和電流主動降到閂鎖電流極限之下,這樣器件會先達到電流飽和、而不是先觸發閂鎖——閂鎖問題在正常工作範圍內被徹底排除。東芝1985年開始出售這種不閂鎖的IGBT,很快在中高壓變流器市場取代了功率BJT和MOSFET。
IGBT發明權之爭沒有標準答案
Baliga 1979年最早發表構想、1982年最早把器件推向市場,並持續改進、申請了20多項專利、寫了一本800多頁的IGBT專著,因此多數業內人士認可他是發明人或共同發明人;但他早期的器件在大電流下仍有「類晶閘管」表現,並非真正不閂鎖的器件。RCA的專利申請時間也很早,其專利主張的正是「全工作範圍內不閂鎖」,而這個特性其實是中川在東芝做出來的——中川本人至今仍在自己的網站上把真正的發明權歸給RCA的Becke。節目把這爭議類比為集成電路發明權之爭:Kilby做出了第一個IC,但Noyce和Hoerni的平面工藝才做出了真正實用的單片IC。
碳化硅、氮化鎵來了,硅基IGBT仍未退場
新一代寬禁帶材料製成的功率器件,如碳化硅、氮化鎵,正在崛起,但傳統硅基IGBT依然牢牢佔據中等功率這一細分市場,尚未被取代。節目收尾強調IGBT真正的遺產:它讓空調在完成初始製冷後能降低電機轉速、僅維持溫度,從而大幅省電;它也是現代風電把可變交流電轉換成直流存儲的核心部件,以及電動車電機驅動系統裡不可或缺的一環。
原話 · 已逐字校驗
It's more like as if the two got mixed up inside the teleportation pods from that movie, the Fly. … It's semiconductor body horror.
這更像是兩者在電影《變蠅人》的傳送艙裡被攪在了一起……這是半導體版的『人體恐怖片』。
He told them bluntly, if Research doesn’t come up with something then he will tell Welch that the labs were unnecessary.
他直截了當地告訴他們:如果研究部拿不出點東西來,他就會去告訴韋爾奇,這些實驗室根本沒有存在的必要。
I thought, what I’ll do is I’ll make the power MOSFET and I’ll have to make sure that it does have some bipolar action as well, and this will give me a lot of high current-density capability
我當時想,我要做的是做出功率MOSFET,同時還得確保它帶有一些雙極型的作用,這樣就能給我帶來很強的高電流密度能力。
Carl F. Wheatley12:28
This parasitic NPN BJT reacts with the normal PNP BJT to create a self-sustaining loop like that reactor at the end of the Spider-Man 2 movie.
這個寄生的NPN雙極晶體管會和正常的PNP雙極晶體管相互作用,形成一個自我維持的循環,就像電影《蜘蛛俠2》結尾那個反應堆一樣。
Nakagawa's insight - which looks obvious in hindsight but is also why it is so brilliant - was to lower the device's saturation current to below its latch-up current limit.
中川的洞見——事後看顯而易見,但這也正是它高明之處——就是把器件的飽和電流降到低於其閂鎖電流極限。
In the end, it all comes down to what you think is the IGBT we are talking about.
說到底,這取決於你認為我們在談論的『IGBT』到底指的是哪一種器件。
數字與實體
| 首批功率MOSFET可處理的功率上限 | 小於1瓦 | 5:15 |
| GE首批IGT晶圓下線時間 | 1981年8月 | 11:24 |
| IGT正式上市時間 | 1983年6月 | 12:28 |
| Baliga為改進IGBT申請的專利數 | 20多項 | 19:34 |
| Baliga所著IGBT專著頁數 | 800多頁 | 19:34 |
術語
- IGBT絕緣柵雙極晶體管
- 兼具MOSFET柵極控制和BJT大電流導通能力的混合功率器件
- latch-up閂鎖
- 器件導通後無法通過柵極關斷、只能靠外部強行降流才能停止的失控狀態
- conductivity modulation電導調製
- 少數與多數載流子同時注入使材料電阻大幅下降、從而通過更大電流的效應
- Deep P+深P+摻雜區
- Baliga加入的一種重摻雜結構,用來限制空穴流動、降低閂鎖風險
- parasitic NPN BJT寄生NPN雙極晶體管
- IGBT結構中本不需要、卻可能被意外觸發導致閂鎖的隱藏晶體管
收聽指南
做功率電子、電力電子器件選型,或對半導體發明史、專利權爭議感興趣的工程師和技術愛好者